色播

6月18日下午，色播-免费色播 研究生会主办的第305期博睿沙龙活动顺利举行。活动邀请了研究集成电路制造领域的陈创创老师，围绕 “先进节点集成电路（IC）制造极紫外（EUV）全息计算光刻与计算成像测量技术” 开展学术讲座，为师生搭建了前沿技术交流平台。

讲座中，陈创创老师从光子与物质相互作用的原理出发，深入浅出地阐述了光子与物质相互作用的科学机理，系统介绍了EUV全息计算光刻与计算成像测量技术的理论框架与技术路线。通过5nm及以下工艺节点的EUV光刻制程案例，陈老师生动展示了计算光刻与计算成像技术在高端芯片制造中的创新应用与未来发展趋势。讲座内容涵盖集成电路制造技术演进历程、前道光刻技术发展路线图等丰富内容，配合精心准备的可视化演示材料，使抽象复杂的光刻工艺理论变得直观易懂。在互动环节，针对师生提出的“计算光刻算法优化”“测量精度提升” 等问题，陈老师结合团队最新研究成果和实践经验进行了富有启发性的交流与探讨。他特别强调，在当前科技自立自强的时代背景下，科研学习应当注重三个维度：一是夯实多学科交叉融合的基础理论，二是培养面向国家重大战略需求的科研视野，三是树立立足本土、放眼全球的创新意识。陈老师鼓励青年学子要勇攀科研高峰，将个人学术追求与国家高新技术产业突破紧密结合，在解决卡脖子技术难题中实现学术价值。

作为色播 “科学家精神” 培育工作的重要内容，博睿沙龙活动一直致力于推动学术创新与人才培养。本次活动加深了师生对集成电路制造前沿技术的了解，促进了学术交流与思想碰撞，有助于激发同学们的科研热情和创新意识。未来，色播 将继续举办高质量学术活动，助力学生科研成长。

图：王卓妍文：李笑雪

指导教师：刘萍/郑世豪

2025年6月18日